Fabrication de structures Micro-usinées MEMS

Résumé de la formation

  • Type de diplôme: Stage court
  • Domaines de compétences: Aéronautique – Espace – Systèmes Embarqués

Présentation

Présentation

Dates

Juin & septembre 2017

Responsable du stage

Marc Respaud
Professeur des Universités


Intervenant

Frédéric Gessinn
Ingénieur de Recherche INSA

Objectifs

Cette formation donne une approche pratique complète sur les opérations de fabrication de structures mobiles sur silicium en salle blanche (MEMS). Il s’adresse aux chercheurs, ingénieurs, techniciens et commerciaux concernés par l’industrie de la micro-électronique, qui souhaitent acquérir les notions de base sur les techniques de fabrication des MEMS en salle blanche.

Programme

Contenu de la formation

Réalisation en salle blanche de micro systèmes électromécaniques (MEMS) robustes, mobiles ou suspendus, en polysilicium usiné et ancré sur silicium.

En partant d’un wafer de silicium oxydé, les stagiaires fabriquent les structures en utilisant des séquences d’opérations similaires à celles de la fabrication de composants MOS (photolithographies à 4 niveaux de masquage, gravures chimiques et sèches, oxydations, dépôts de couches minces de polysilicium, diffusion ou implantation ionique) et pratiquent ensuite l’activation électrique des structures réalisées : ponts, poutres, résonateurs, actionneurs thermiques latéraux.

 

EQUIPEMENTS UTILISES
  • Fabrication: fours thermiques, bâtis de dépôt métallique sous vide, gravure ionique réactive, machines d’alignement de masques.
  • Caractérisation: Microscope électronique à balayage et microscopes optiques, résistivimètre, profilomètre, ellipsomètre.

Contact(s)

Lieu(x) de la formation

  • Toulouse

Contact(s) administratif(s)

BERNAD Olivier

Conseiller Formations Qualifiantes

Tél : 05 61 55 92 53

Email : obernad @ insa-toulouse.fr

Plus d'infos

Public concernéFormation continue, Formation continue non diplômante, Formation professionnelle

Durée du stage 5 jours/ 30h

Nous contacter

Toulouse Tech Formation Professionnelle

6 allée Emile Monso - BP 34038
31029 Toulouse Cedex 4

05 34 32 31 08

Contacts

Service commun des centres de Formation Continue de l'INP Toulouse et de l'INSA Toulouse

  • Logo MENESR
  • Logo Region
  • Logo UTFTMP
  • Logo INP
  • Logo INPT
  • Logo Ensat
  • Logo Enseeiht
  • Logo Ensiacet
  • Logo INSA
  • Logo CTI
  • Logo CGE